用户是位于北京怀柔的实验室，系guo家级新型科研事业单位，面向清洁低碳安全高效能源体系构建和“碳达峰、碳中和”战略目标，开展战略性、前瞻性、基础性的科学技术研究。

Thetametrisis膜厚测量仪设备主要应用于客户某工艺阶段的氧化物、光刻胶、半导体化合物等涂层厚度方面的测量。

ThetaMetrisis的核心技术是白光反射光谱（WLRS），它可以在从几埃到毫米的超宽范围内准确测量堆叠薄膜和厚膜的厚度和折射率。

FR-μProbe显微薄膜测量仪提供一站式解决方案，通过光学显微镜在各种模式下进行光学测量，如吸光度、透射率、反射率和荧光等。

FR-μProbe主要包含两个光学组件：一个在显微镜支持的光谱范围内运行的光谱仪和一个安装在三筒光学显微镜C-mount端口上的模块。用于测量的光源来自光学显微镜本身。测量光斑的大小区域由所用物镜的放大倍数定义。通常对于50X物镜，测量区域是一个直径约5μm的圆形。通过使用更高放大倍率或更小孔径的物镜，可以进一步缩小测量光斑。