该客户是中国碳化硅（SiC）功率器件产业化的chang导者之一，于2021年安装了第一台ThetaMetrisis FR-Scanner-AIO-Mic，因机台使用状况良好，客户今年追加购买了第2台和第3台设备（包括可见光和紫外光范围）。
FR-Scanner-AIO-Mic膜厚测量仪采用的是波长范围在370-1020nm的可见光干涉测量，能够测量12nm-90um范围的膜层厚度（5X镜头），准确度高达0.2%或2nm，精度为0.02nm，是一款性价比很高的膜厚测量设备。FR-Scanner的紫外光配置，波长范围低至200nm, 能应用于4nm-60um范围的膜层厚度（5X镜头），准确度高达0.1%或1nm。市场上大多数膜厚测量仪在增加了显微镜配置后，设备的膜厚测量范围出现大幅度缩减，但ThetaMetrisis产品不会出现这种情况，其膜厚测量范围仍然宽广。值得一提的是，实现多点Mapping测量功能是FR-Scanner系列的标配。