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薄膜厚度测量的光学模块可容纳所有光学部件：分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此，在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。

Thetametrisis膜厚测量仪FR-pRo是一个模块化和可扩展平台的光学测量设备，用于表征厚度范围为1nm-1mm 的涂层。

FR-Mic 多层膜厚度测试仪是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案，可以将光斑缩小到几个微米，进而分析微小区域或者粗糙表面薄膜特征。

硬化涂层膜厚仪是一款快 速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案，要求的光斑尺寸小到几个微米，如微图案表面，粗糙表面及许多其他表面。

FR-uProbe-LC: 可测量小至几微米的光斑尺寸应用，例如微图案表面、高粗糙度表面的样品等等只需单击鼠标即可在 Vis/NIR波长范围中测量微小区域薄膜厚度、光学常数、反射率、透射率和吸光度

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自动薄膜厚度测绘系统，用于全自动图案化晶圆上的单层和多层涂层厚度测量。电动X-Y载物台提供适用尺寸 300mm x 300mm毫米的行程，通过真空固定在载台上时进行精确测量。可依测量厚度和波长范围应用需求可在在 200-1700nm 光谱范围内提供各种光学配置