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FSM413红外激光测厚仪主要产品包括:光学测量设备:三维轮廓仪、拉曼光谱、 薄膜应力测量设备、 红外干涉厚度测量设备、电学测量设备:高温四探针测量设备、非接触式片电阻及漏电流测量设备、金属污染分析、等效氧化层厚度分析（EOT）

FR-Ultra 是一款专用于精确测量半导体以及介电材料超厚层的专用设备。 藉由先进的光学器件，FR-Ultra 可以测量光滑或粗糙的薄膜以及较厚的基材。