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美国FSM 薄膜应力及基底翘曲测试设备：在衬底镀上不同的薄膜后, 因为两者材质不一样，以及不同的材料不同温度下特性不一样, 所以会引起应力。 如应力太大会引起薄膜脱落, 引致组件失效或可靠性不佳的问题。 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有/效手段。

美国FSM 高温薄膜应力及基底翘曲测试设备：美国FSM成立于1988年，总部位于圣何塞，多年来为半导体行业等高新行业提供各式精密的测量设备。